Rozlišení 13 µm
Rozměry 1100 × 1756 × 1753 mm (Š × H × V)
Zorné pole (FOV) 50 × 50 mm, 40 × 40 mm (při rozlišení 8 µm)
Měření v ose Z až 30 mm
Rychlost až 100 cm²/s (obě strany dohromady)
Max. rozměr DPS 508 × 560 mm
Clearance 50 mm (horní), 50 mm (spodní)